Ipa ti awọn Susceptors ti a bo SiC ninu Awọn ilana Epitaxy LED Veeco

Ayika epitaxy LED jẹ́ àyíká tó gbóná gan-an tó sì ní ìmọ́lára gan-an, àti pé ìyípadà díẹ̀ nínú àyíká náà yóò yọrí sí ìyàtọ̀ nínú dídára wafer. Suscepter jẹ́ apá pàtàkì kan tó wà nínú reactor náà. Ó ń ṣe àtìlẹ́yìn fún wafer nígbà tí epitaxy bá ń dàgbà, ó tún ń kó ipa pàtàkì nínú pípín ooru sí gbogbo wafer náà déédé. Ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn ètò epitaxy LED Veeco lo suscepter graphite tí a fi SiC bo. Aṣọ SiC náà lè dáàbò bo graphite kúrò lọ́wọ́ ooru àti kẹ́míkà, ó sì fún ni ní dídára LED tó dọ́gba.

Báwo ni ìbòrí CVD SiC ṣe ń mú kí ìṣọ̀kan ooru pọ̀ sí i nínú àwọn irinṣẹ́ Veeco EPIK

Pípa wafer náà mọ́ ní iwọ̀n otútù tó yẹ nígbà tí a bá ń ṣe àwọn LED tó ga jùlọ jẹ́ ohun pàtàkì láti ronú nípa rẹ̀. CV sic ìbòrí náà ń ṣẹ̀dá ojú tí ó dúró ṣinṣin tí ó sì dúró ṣinṣin lórí ohun tí ó ń mú kí graphite suscepter náà pín ooru ní ìbámu nígbà tí SiC LED substrate bá ń dàgbà.

Paapaa nigba ti ko ba si CVd sic ti a bo Tí a bá lo ó, àwọn ìyàtọ̀ díẹ̀ láàárín àwọn graphite kọ̀ọ̀kan lè yọrí sí ìyàtọ̀ nínú àwọn ànímọ́ gbigbe ooru ojú ilẹ̀, ṣùgbọ́n pẹ̀lú ìbòrí CVD SiC tí ó ga jùlọ, àwọn ànímọ́ gbigbe ooru ojú ilẹ̀ yóò pọ̀ sí i gidigidi, nítorí náà, àwòrán ooru náà yóò dọ́gba. Ilé iṣẹ́ kan ní àwọn ìṣòro pẹ̀lú àwọn àwọ̀ tí kò ní ìrísí àwọ̀ lórí àwọn wafers rẹ̀, tí ó jẹ́ nítorí pé ooru tí kò ní ìrísí àwọ̀ ń fà á lórí ojú ilẹ̀ rẹ̀. Síbẹ̀síbẹ̀, lílo CVD SiC tí ó nípọn, tí ó ga jùlọ àti CVD TaC ìbòrí borí àìdúróṣinṣin yìí.

Àìpé ojú ilẹ̀ àti ìfọ́ tí a fi bo CVD SiC àti Ga ti nw CVD SiC aise ohun elo le mu iyipada pọ si nitori wọn ṣẹda awọn oṣuwọn idagbasoke ohun elo ti ko baamu, tabi awọn aaye gbigbona ti o ṣeeṣe lori oju ibora naa. Ọpọlọpọ awọn aṣelọpọ ni a maa n ṣayẹwo awọn ibora nigbagbogbo fun ibajẹ ati awọn fifọ nipa wiwo ipo ibora CVD SiC lẹhin lẹsẹsẹ awọn iyipo igbona. A le yi susceptor naa pada jakejado ilana CVD lati le mu iṣọkan ati agbara ti ibora CVD SiC pọ si.

Sibẹsibẹ, lilo ibora CVD SiC ko le yọkuro gbogbo iyatọ naa ṣugbọn o jẹ ki o ṣee ṣe diẹ sii lati ṣe awọn ohun elo ipilẹ nigbagbogbo fun iṣelọpọ LED ni iwọn nla.

Iṣẹ́ àwọn Susceptors Graphite tó ga jùlọ nínú LED Epitaxy

Àmì ìfàmọ́ra náà ń gbé wafer náà ró, ó sì ń pa á mọ́ ní ìwọ̀n otútù tó dúró ṣinṣin nígbà tí ìpele kírísítàlì náà bá ń dàgbà. A sábà máa ń lo graphite, ní òótọ́, ó yẹ kí a lo graphite mímọ́ tó ga nítorí pé a lè lò ó ní ìwọ̀n otútù tó ga gan-an, kò sì ní yí padà.

Ìgbékalẹ̀ ooru gíga yìí ń ran lọ́wọ́ láti gbé ooru láti inú àwọn èròjà ìgbóná sí wafer àti láti mú kí ìwọ̀n otútù wafer dúró ṣinṣin nígbà tí ìpele náà bá ń dàgbà. Bí àwọn ìyàtọ̀ ìwọ̀n otútù kékeré bá ń mú kí ìdàgbàsókè kristali náà yípadà, ó yẹ kí ó dúró ṣinṣin bí ó ti ṣeé ṣe tó.

Ìmọ́tótó jẹ́ kókó pàtàkì nínú graphite tí a lò. Graphite tí ó ní èérí ní irin àti àwọn ohun ìdọ̀tí mìíràn tí a ó máa tú jáde láti inú ohun tí ó ń mú kí ó gbóná nígbà tí a bá ń gbóná, tí a ó sì kó sórí wafer tí ó ń fa àbùkù kristali.

Àwọn olùṣe kan rí i pé àwọn LED tí kò ní àbùkù ń pọ̀ sí i nípa lílo graphite tí kò mọ́ tónítóní. Graphite mímọ́ tó ga àti àyẹ̀wò tó le koko mú kí àwọn àbájáde tó dára jù wá. Ọ̀ràn mìíràn ni bí ohun tí ó ń mú kí ara rẹ̀ rọ̀.

Lẹ́yìn ọ̀pọ̀ ìgbà tí a bá ti lo ìgbóná àti ìtútù, ohun tí ó lè mú kí afẹ́fẹ́ náà bàjẹ́ lè bàjẹ́. Ìyípadà yìí lè ní ipa lórí ìṣàn gaasi àti ipò wafer, èyí tí ó ní ipa lórí ìdúróṣinṣin ìdàgbàsókè àwọn ipele.

Dínkù Àwọn Ìṣòro Patikulu Nínú Epitaxy Nípasẹ̀ Àwòrán Ilẹ̀ Tí A Ṣe Àtúnṣe

Pupọ julọ awọn iṣoro patiku bẹrẹ pẹlu awọn oju ilẹ ti awọn ẹya ati awọn gaasi ti kan si. Awọn ohun elo ti o ni ipa, awọn ila ati bẹẹ bẹẹ lọ le tu awọn patiku silẹ diẹdiẹ bi akoko ti n bọ bi awọn oju ilẹ wọn ba n ya tabi ti o ba ti gbó.

Nínú àwọn gáàsì ìgbóná gíga, àwọn ìfọ́ kékeré tàbí wíwọ aṣọ ìbòrí lè mú àwọn ègé kéékèèké jáde tí yóò rìn gba inú reactor náà kọjá tí yóò sì rọ̀ sórí àwọn wafers. Pẹ̀lú ìwọ̀n tó tóbi tó, èékánná kan lórí ojú wafer kan yóò yọrí sí àbùkù kan lórí LED ìkẹyìn.

Dídánmọ́rán yóò dín àǹfààní ìtújáde àwọn pàtákì kù, ṣùgbọ́n ó yẹ kí ó lè fara da ìyípo ooru lẹ́ẹ̀kan síi. Àwọn ìbòrí kan lè dàbí ẹni pé wọ́n ní ojú ilẹ̀ tó dára ní iwọ̀n otútù yàrá nígbà tí ó bá ń ní àwọn ìfọ́ kékeré lẹ́yìn ọ̀pọ̀ ìgbà tí wọ́n bá ti ṣiṣẹ́. Àwọn ìṣòro pàtákì sábà máa ń wáyé díẹ̀díẹ̀ nígbà tí àwọn ẹ̀yà ìbòrí bá ti bàjẹ́.

Fún ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn ẹ̀yà iṣẹ́, ìbàjẹ́ wà ní etí nítorí pé apá yìí kó ìdààmú tó ga jùlọ jọ. Nípa ṣíṣàkóso dídára rẹ̀, sisanra ìbòrí àti ìdààmú tó wà ní etí rẹ̀, a lè dín ìbàjẹ́ náà kù.

Nítorí náà, láti dènà kí ìpele ìbòrí náà má baà bọ́ lẹ́yìn gbogbo ìgbà tí a bá ń ṣiṣẹ́, ìsopọ̀ ìbòrí náà àti àwọn ohun èlò ìbòrí graphite gbọ́dọ̀ dára. Ṣíṣàyẹ̀wò déédéé nínú ìmọ́lẹ̀ dídán tàbí àpẹẹrẹ lè fúnni ní ìkìlọ̀ nípa àwọn ìṣòro wọ̀nyí.

Fífi Bare Graphite àti SiC-Coated Susceptors wéra nínú iṣẹ́ ìṣẹ̀dá LED

Bó tilẹ̀ jẹ́ pé a lo àwọn ohun èlò tí a fi graphite àti SiC bo láti ṣe LED, wọ́n máa ń ṣiṣẹ́ lọ́nà tó yàtọ̀ síra nínú àwọn ètò ìṣiṣẹ́ wọn.

Àwọn ìdí tí a fi ń lo graphite tí kò ní ìrísí ni pé ó ṣiṣẹ́ dáadáa nínú gbígbé ooru, ó sì ní agbègbè tí ó tóbi láti gba ooru, ó sì ní ìtújáde pàtákì díẹ̀ láti ojú rẹ̀ lẹ́yìn wákàtí díẹ̀, bó tilẹ̀ jẹ́ pé ó ní àwọn àléébù mìíràn. Àwọn wọ̀nyí ni, pípín ooru tí kò dára àti agbègbè gíga tí ó ga mú kí ó máa ṣe àtúnṣe sí àwọn gáàsì nínú yàrá náà, nítorí náà ó máa ń mú kí àwọn pàtákì jáde pẹ̀lú iyàrá púpọ̀ sí i, bó tilẹ̀ jẹ́ pé ìkọ́lé díẹ̀díẹ̀ yìí jẹ́ ìyípadà ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìgbà.

Agbára ìdènà SiC tí a fi bo ojú rẹ̀ máa ń borí díẹ̀ lára ​​àwọn ìṣòro wọ̀nyí pẹ̀lú àfikún àwọ̀ tó lágbára tí ó lè dáàbò bo.

Ẹnìkan lè wo àwọn ohun èlò LED tí wọ́n ń ṣiṣẹ́ pẹ̀lú ìwọ̀n gíga nípasẹ̀ àwọn ìyípo iṣẹ́ tí a nílò àwọn ìyípadà gígùn. Àwọn ohun èlò kan rí i pé lórí àkókò gígùn pẹ̀lú graphite tí kò ní ìrísí, ìyípadà díẹ̀díẹ̀ ti ìṣọ̀kan wafer máa ń wáyé lẹ́yìn ọ̀pọ̀ ìyípo ooru. Ojú ohun èlò náà dàbí pé ó ń yí padà díẹ̀díẹ̀, nítorí náà, ìpínkiri ooru náà di aláìdúróṣinṣin.

Lílo àwọn ohun tí a fi SiC bo fún ìgbà pípẹ́ túmọ̀ sí wípé ìyàtọ̀ yìí nínú ìṣọ̀kan wafer kò pọ̀ tó, ìyẹn ni pé pẹ̀lú ilé iṣẹ́ kan ṣoṣo, lílọ sí SiC tí a fi SiC bo túmọ̀ sí wípé kò pọndandan láti ṣe àtúnṣe àwọn ìlà wọn nígbàkúgbà tí wọ́n bá ń yípadà láti oríṣiríṣi ìpele.

A le ṣe ìwádìí nípa àwọn ànímọ́ ooru. Ó dà bíi pé Bare graphite ní ìwọ̀n àìdúróṣinṣin nínú ooru lórí ojú rẹ̀. Èyí ni a gbàgbọ́ pé ó jẹ́ ohun tó ń fa ìyípadà díẹ̀díẹ̀ lórí ojú náà àti pé ó tún jẹ́ ohun kan tí a kò mọ̀ nípa rẹ̀ nínú ìbòrí náà.

Àwọ̀ SiC náà máa ń ti ojú ilẹ̀, ó máa ń dá àwọn àyípadà dúró, èyí tó túmọ̀ sí wípé ìyípadà ooru náà kò ní yípadà. Àbájáde tí èyí ní lórí àwọn LED ni pé tí ìpele tí a gbìn bá ní ìyàtọ̀ nínú otútù, ìwọ̀n ìgbì/ìmọ́lẹ̀ náà yóò yípadà pẹ̀lú.

Àwọn àléébù wà nípa ti ara wọn sí lílo àwọn ohun tí a fi SiC bo; iye owó wọn àti pé, bó tilẹ̀ jẹ́ pé wọn kò ní àwọn ohun tí a fi SiC bo, wọ́n máa ń tú àwọn ohun tí a fi SiC bo jáde tí wọ́n bá fọ́, nítorí náà wọ́n lè mú àwọn ohun tí a fi SiC bo jáde dípò kí wọ́n dín wọn kù.

Nítorí náà, a gbọ́dọ̀ ṣe àkíyèsí àti ìtọ́jú àwọn ìbòrí wọn kí a tó lè dènà ìbàjẹ́ kí àbùkù náà tó ṣẹlẹ̀, bó tilẹ̀ jẹ́ pé, pẹ̀lú lílo àwọn ìbòrí tí kò lè wọ ara wọn, wọ́n gbọ́dọ̀ wà fún ìgbà díẹ̀, nígbà náà ni a ó fi rọ́pò wọn.

Àwọn Ọgbọ́n Ìtọ́jú àti Ìmọ́tótó fún Àwọn Ẹ̀yà Veeco Tó Pẹ́

Jíjẹ́ kí àwọn ẹ̀yà Veeco wà ní ipò tó dára yóò mú kí àwọn ẹ̀yà náà pẹ́ títí, yóò sì mú kí iṣẹ́ epitaxy náà dúró ṣinṣin. Àṣẹ́kù máa ń kóra jọ sórí àwọn ohun tí ó lè mú kí ara bàjẹ́, àwọn ohun tí a fi ṣe ìbòrí àti àwọn òrùka tí a fi nǹkan bò. Àṣẹ́kù, kódà ní àwọn ìpele tín-tín bí àwọn tí a lè dá mọ̀, lè ní ipa lórí ìdáhùn ooru lórí ojú ilẹ̀ náà, kí ó sì fa àìdọ́gba iṣẹ́ náà.

Onímọ̀ ẹ̀rọ kan ròyìn pé ó rí ìmọ́lẹ̀ LED tí kò dọ́gba tàbí àbájáde wafer tí kò dára, lẹ́yìn náà ó ṣe ìwádìí lórí àwọn ohun tí ó ń fa ìṣòro náà. Ó yẹ kí a ṣe àwọn ìlànà ìwẹ̀nùmọ́ tó yàtọ̀ síra fún àwọn ohun èlò tó yàtọ̀ síra. Kò yẹ kí a fi àwọn ẹ̀yà graphite tó mọ́ tónítóní hàn sí àwọn kẹ́míkà abrasive tàbí àwọn ọ̀nà ìfọ́ abrasive nítorí pé àwọn ọ̀nà wọ̀nyí lè wọ apá náà.

Ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn ìlà ìṣẹ̀dá ló máa ń lo ìwẹ̀nùmọ́ plasma tí a ti ṣe ní àkókò tàbí àwọn ọ̀nà kẹ́míkà tí ó túbọ̀ jẹ́ ti àṣà láti mú kí àwọn ohun tí a fi SiC bo pọ̀ sí i. Ó tún ṣe pàtàkì láti fi ọwọ́ mú àwọn ẹ̀yà tí a fi SiC bo dáadáa. Bó tilẹ̀ jẹ́ pé apá yìí lágbára díẹ̀, àwọn ìkọ́ àti ìfọ́ tí ó máa ń wáyé nígbà ìwẹ̀nùmọ́ yóò fa àwọn ìfọ́ kékeré tí ó lè jẹ́ orísun pàǹtíkì nígbẹ̀yìn-gbẹ́yín. Ìlà ìṣẹ̀dá kan yanjú èyí nípa lílo àwọn ohun èlò ìwẹ̀nùmọ́ tí ó rọ̀ tí ó sì ń ṣe àgbékalẹ̀ ọ̀nà ìtọ́jú tí ó dára jù fún àwọn ẹ̀yà wọ̀nyí.

Ìṣàkóṣo ìgbésí ayé apá kan déédéé tún máa ń wáyé lẹ́yìn tí a bá ti fọ̀ ọ́ mọ́. Ṣíṣàyẹ̀wò kíákíá láti rí ìyípadà àwọ̀, àwọn ìfọ́ kékeré tàbí ìfọ́ tí kò dọ́gba lè mú ẹ̀rí àkọ́kọ́ ti ìkùnà apá kan. Ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn ohun èlò ìṣiṣẹ́ ló máa ń lo ìṣàkóṣo ìgbésí ayé apá kan dípò kí wọ́n gbẹ́kẹ̀lé ìyípadà ẹ̀yà ara tí ó dá lórí ìkùnà. A ó rọ́pò ẹ̀yà ara náà kí ìṣòro náà tó hàn gbangba.

A sábà máa ń fojú kéré ìtọ́jú náà. Bó tilẹ̀ jẹ́ pé ó rọrùn láti fi eruku àti ọ̀rinrin ba àwọn ẹ̀yà ara náà jẹ́ nígbà tí a bá kó wọn síta, ó sì yẹ kí a fi dí wọn nínú àpótí mímọ́ kí a tó lò ó.

Bí àkókò ti ń lọ, ó hàn gbangba pé ohun kékeré tí a ń ṣe lójoojúmọ́ ni kọ́kọ́rọ́ ìgbésí ayé gígùn. Pé ọ̀nà ìwẹ̀nùmọ́ jẹ́jẹ́, ìtọ́jú pẹ̀lú ìṣọ́ra, àti ìṣọ́ra nígbà gbogbo ti àwọn apá kan lè ní ipa lórí ìdúróṣinṣin nínú ìlànà epitaxy ní pàtàkì.