0200-06508 Apata Seramiki Oke 300mm

0200-06508 Top Ceramic Shield 300mm jẹ́ ẹ̀ka ìdáàbòbò seramiki ìpele semiconductor tí a ń lò nínú àwọn yàrá ìṣiṣẹ́ plasma tó ti pẹ́. Ní ti ètò, ó jẹ́ ara ẹ̀ka ìdáàbòbò seramiki tí ó dojúkọ plasma tí a fi sínú àwọn àkójọpọ̀ yàrá òkè láàárín àwọn pẹpẹ ẹ̀rọ semiconductor.

Láìdàbí àwọn ààbò ẹ̀rọ ìṣẹ̀dá ìbílẹ̀, ẹ̀yà seramiki yìí ń ṣe ọ̀pọ̀lọpọ̀ iṣẹ́ pàtàkì ní àkókò kan náà. Kì í ṣe pé ó ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí ààbò ti ara lòdì sí ìfọ́ plasma nìkan, ṣùgbọ́n ó tún ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí ẹ̀yà ìṣètò yàrá tí ó ń ṣe àfikún sí ìdúróṣinṣin plasma, ìdúróṣinṣin pápá RF, àti ìdarí ìbàjẹ́ nígbà tí a bá ń ṣe iṣẹ́ wafer semiconductor.

Awọn abuda ohun elo ati awọn anfani

Láti kojú àwọn àyíká plasma semiconductor oníjàgídíjàgan, a sábà máa ń lo àwọn ohun èlò seramiki oníwà mímọ́ gíga tí a ṣe fún agbára ìdúróṣinṣin plasma, ìdúróṣinṣin ooru, àti iṣẹ́ ìbàjẹ́ díẹ̀.

Awọn eto ohun elo ti o wọpọ le ni:

● Alumina Mímọ́ Gíga (Al₂O₃)

●Y₂O₃-Alumina tí a fi bo

●Àwọn ohun èlò ìṣẹ́ amọ̀ Silicon Carbide (SiC)

●Nitride Aluminium (AlN)

Láàrín àwọn ohun èlò wọ̀nyí, alumina tó mọ́ tónítóní ṣì jẹ́ ọ̀kan lára ​​àwọn ojútùú tó gbajúmọ̀ jùlọ nítorí àwọn ohun ìní ìdábòbò iná mànàmáná tó dára, ìdènà tó lágbára nínú plasma, àti iṣẹ́ ẹ̀rọ tó dúró ṣinṣin.

1. Idaabobo Plasma to dara julọ

Àwọn ìlànà plasma semiconductor sábà máa ń ní àwọn kẹ́míkà fluorine tó lágbára bíi CF₄, NF₃, àti fluorocarbon. Àwọn ohun èlò seramiki tó ti ní ìlọsíwájú máa ń pèsè ìdènà tó lágbára sí ìfọ́ plasma, èyí tó ń ran lọ́wọ́ láti dín ìbàjẹ́ ojú ilẹ̀ kù, tó sì ń mú kí àwọn ohun èlò náà pẹ́ sí i nígbà tí wọ́n bá ń fi plasma hàn nígbà gbogbo.

2. Ìṣẹ̀dá Pátákì Kéré

Ìbàjẹ́ patiku jẹ́ ọ̀kan lára ​​àwọn àníyàn pàtàkì jùlọ nínú iṣẹ́-ṣíṣe semiconductor tó ti ní ìlọsíwájú. Ṣíṣe seramiki tó péye àti àwọn ìmọ̀-ẹ̀rọ tó dára jùlọ láti parí ojú ilẹ̀ ń ran lọ́wọ́ láti dín ìtújáde patiku, ìfọ́, àti ìfọ́ ojú ilẹ̀ kù nígbà tí a bá ń ṣiṣẹ́ yàrá.

3. Iṣẹ́ Dielectric Tó Dára Dáradára

Àwọn ohun ìní dielectric ti semiconductor seramiki ní ipa taara lórí ìsopọ̀ RF àti ìhùwàsí plasma nínú yàrá náà. Àwọn ànímọ́ dielectric tó dúró ṣinṣin ń ran lọ́wọ́ láti máa ṣe ìpínkiri ìwọ̀n plasma déédé àti láti mú kí ìtúnṣe ilana pọ̀ sí i ní gbogbo àwọn àkókò iṣẹ́.

4. Iduroṣinṣin Gbona giga

Àwọn ohun èlò seramiki máa ń mú kí ìdúróṣinṣin oníwọ̀n wà lábẹ́ àwọn iwọ̀n otútù gíga àti àwọn ipò ìyípo ooru tí a ń ṣe leralera. Àwọn ànímọ́ ìyípadà ooru kékeré wọn ń ṣe àfikún sí iṣẹ́ yàrá tí ó dúró ṣinṣin àti iṣẹ́ ilana ìgbà pípẹ́ tí ó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé.

5. Ìmọ́tótó-Ìpele Semiconductor

A ṣe àwọn ohun èlò seramiki Semiconductor pẹ̀lú àwọn ìpele àìmọ́ tí a ṣàkóso dáadáa láti dín ewu ìbàjẹ́ irin tí a fi ń ṣe àwọn ohun èlò ìṣiṣẹ́ wafer ní iwájú-opin.

Awọn Iṣẹ́ Ìlànà Pàtàkì

Ọ̀kan lára ​​àwọn iṣẹ́ pàtàkì jùlọ ti 0200-06508 Top Ceramic Shield 300mm ni ààbò yàrá. Nígbà tí a bá ń ṣe iṣẹ́ plasma, àkójọ yàrá òkè máa ń fara hàn nígbà gbogbo sí àwọn ions alágbára àti àwọn ẹ̀dá plasma tí ń ṣe àtúnṣe tí ó lè ba ojú yàrá jẹ́ kíákíá. Ààbò seramiki náà ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí ìdènà ààbò tí ó ń dín ìkọlù plasma tààrà lórí àwọn ẹ̀yà yàrá tí ó gbowólórí kù, tí ó ń ran lọ́wọ́ láti mú kí yàrá pẹ́ sí i àti láti dín ìgbòkègbodò ìtọ́jú kù.

Apakan naa tun ṣe ipa pataki ninu iduroṣinṣin pilasima. Nitori pe ihuwasi pilasima ni ipa nla nipasẹ geometry yara ati pinpin dielectric, aabo seramiki ṣe alabapin si dida aaye RF ti o duro ṣinṣin ati idaduro pilasima ninu iyẹwu naa. Eyi ṣe iranlọwọ lati mu iṣọkan pilasima dara si ati ṣe atilẹyin awọn abajade ilana wafer ti o ni ibamu diẹ sii.

Ni afikun, aabo seramiki naa n ran lọwọ lati dinku idoti ati iṣelọpọ awọn ohun elo inu yara naa. Nipa pese oju-aye ti o duro ṣinṣin ti o ni resistance giga si sputtering ati ikọlu kemikali, paati naa n ṣe iranlọwọ lati ṣetọju awọn ipo iyẹwu mimọ ati mu iṣelọpọ wafer gbogbogbo dara si.

Iṣẹ́ pàtàkì mìíràn ni ṣíṣe àtúnṣe ilana. Bí iṣẹ́-ṣíṣe semiconductor ṣe ń tẹ̀síwájú sí àwọn ihò tó ti lọ síwájú àti fífaradà ilana tó lágbára sí i, ìdúróṣinṣin yàrá di ohun tó ṣe pàtàkì sí i. Ààbò seramiki náà ń ran lọ́wọ́ láti máa ṣe àtúnṣe àwọn ipò yàrá tó dúró ṣinṣin lórí àwọn àkókò iṣẹ́-ṣíṣe tó gùn, ó ń mú kí ìbáramu yàrá sunwọ̀n sí i, ó sì ń dín ìyípadà ilana láàárín àwọn àkókò ìtọ́jú kù.

Àwọn Ìdáhùn Síírà Semixlab

Semixlab n pese awọn eroja seramiki semiconductor ti o ni iṣẹ giga ti a ṣe apẹrẹ fun awọn ohun elo plasma etch, deposition, ati awọn ohun elo processing wafer ti o ni ilọsiwaju. Awọn ẹya seramiki semiconductor wa ni a ṣe pẹlu iṣakoso ifarada iwọn ti o muna, mimọ ohun elo semiconductor-ipele, ati awọn imọ-ẹrọ ipari dada ti o ni ilọsiwaju lati pade awọn ibeere ti o nilo ti awọn agbegbe iṣelọpọ semiconductor ode oni.

A ṣe atilẹyin fun awọn olupese atunṣe ẹrọ semiconductor OEM, awọn wafer fabs, ati awọn olupese atunṣe ẹrọ pẹlu:

● Iṣiṣẹ seramiki ti o peye

●Awọn ojutu seramiki ti ko ni agbara lati ṣe pẹlu pilasima

●Àwọn ohun èlò ìgbámú yàrá semiconductor

● Àwọn ohun èlò ìtọ́jú seramiki tó mọ́ tónítóní

●Awọn imọ-ẹrọ itọju dada ti ilọsiwaju

●Ṣíṣe àtúnṣe àwọn ẹ̀yà ara ìlànà Semiconductor