PECVD Graphite ọkọ fun PV

PECVD Boat (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Boat) jẹ ohun elo mojuto ilana-gbigbe ti a ṣe apẹrẹ pataki fun ile-iṣẹ fọtovoltaic, ti a lo ninu ipele ifisilẹ fiimu tinrin ti iṣelọpọ oorun ti o ga julọ. O jẹ ti mimọ-giga ati awọn ohun elo sooro iwọn otutu ati pe o le ṣiṣẹ ni iduroṣinṣin ni agbegbe ilana ilana PECVD ti o lagbara, ni idaniloju ideri fiimu aṣọ lori awọn wafers ohun alumọni ati iranlọwọ lati mu ilọsiwaju iyipada ati igbẹkẹle igba pipẹ ti awọn sẹẹli naa. Ọja yii dara fun ifisilẹ silikoni nitride (SiNx) tabi awọn fiimu iṣẹ-ṣiṣe miiran ni awọn sẹẹli fọtovoltaic ti o ga julọ gẹgẹbi monocrystalline/multicrystalline silicon wafers, TOPcon, ati HJT, ati pe o jẹ bọtini pataki ti ko wulo ni awọn laini iṣelọpọ sẹẹli fọtovoltaic.

imọ sile

Ohun elo: Ti a ṣe ti graphite isostatic (mimọ ≥ 99.99%), o le duro ni iwọn otutu giga lẹsẹkẹsẹ ti 1200 ° C ati awọn akoko tutu ati awọn akoko gbigbona loorekoore ni ilana PECVD. Olùsọdipúpọ̀ ìmúgbòòrò gbóná jẹ́ ìwọ̀nba 4.5×10⁻⁶/°C, dídènà wípé àti àbùkù. Igbesi aye iṣẹ naa pọ nipasẹ diẹ sii ju 30% ni akawe si awọn ohun elo ibile.

Super aṣọ Gbona Field Design

Imudara igbona giga ti lẹẹdi (100-120 W/m · K) ni idapo pẹlu ọna ọna iṣan omi afẹfẹ ti o ni irisi oyin jẹ ki iṣipopada ooru iyara ati iṣọkan laarin iyẹwu ifaseyin. Iyatọ iwọn otutu laarin awọn ohun alumọni silikoni jẹ ≤ ± 2 ° C, ati iṣọkan ti sisanra fiimu de ± 2.5% (asiwaju ile-iṣẹ).

Low kontaminesonu dada Itọju Technology

A ṣe itọju dada pẹlu ohun alumọni ohun alumọni iwuwo giga (SiC) ti a bo tabi ilana didan didan ti o dara julọ (Ra ≤ 0.2μm), eyiti o dinku itusilẹ ti lulú graphite ati tọju oṣuwọn itusilẹ patiku ni isalẹ awọn patikulu 5 / cm², pade awọn ibeere mimọ ti awọn ilana iṣelọpọ sẹẹli giga-giga.

Anti-oxidation and Long Service Life idaniloju

Iyan gradient composite anti-oxidation ti a bo (gẹgẹbi Al₂O₃/SiC multilayer be) ni a le yan, eyiti o mu iṣẹ ṣiṣe anti-oxidation ṣiṣẹ nipasẹ awọn akoko 5 ni awọn agbegbe ti o ni iwọn otutu giga. Igbesi aye iṣẹ kọja awọn iyipo 1500, ni pataki idinku idiyele iṣelọpọ fun watt.

Kini idi ti o yan ọkọ oju omi PECVD Graphite?

Aṣamubadọgba ilana Photovoltaic: porosity ti adani ati awọn solusan iyipada dada fun TOPCon phosphor silikoni gilasi (PSG) decoating, HJT kekere otutu ati awọn ibeere pataki miiran.

Imudara iye owo: anfani iye owo adayeba ti awọn ohun elo graphite + igbesi aye iṣẹ pipẹ, iye owo apapọ dinku nipasẹ diẹ sii ju 40% ni akawe pẹlu awọn ọkọ ayọkẹlẹ seramiki.

Ijẹrisi agbaye ati igbẹkẹle: A lo ọja naa ni agbaye diẹ sii ju laini iṣelọpọ fọtovoltaic 50GW, oṣuwọn ikuna <0.1%.

Awọn ọran ọkọ oju omi Semixlab PECVD:

Isokan aṣọ: ± 2.8% → ± 2.1% (iṣapeye 25%)

Igbohunsafẹfẹ rirọpo Hull: awọn akoko 800 → awọn akoko 1300 (62.5% itẹsiwaju)

Iwọn otutu to wulo: ≤800°C

Ibamu chirún ohun alumọni: 125mm × 125mm si 210mm × 210mm (isọdi atilẹyin)

Igbesi aye iṣẹ: ≥1000 igba (da lori awọn ilana ilana pato)

Inira oju: Ra≤0.5μm (lati rii daju idoti patiku kekere)

Awọn alaye apejuwe:

1. Awọn orukọ miiran: ọkọ oju omi PECVD, ọkọ oju omi graphite fun Ilana PECVD, ọkọ oju omi PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Carrier Boat).

2. Ohun elo: ile-iṣẹ fọtovoltaic, ti a lo ni ipele ifisilẹ fiimu tinrin ti iṣelọpọ oorun ti o ga julọ.

3. Core paramita: Mimọ ≥99.995%, iwuwo 1.80-1.85g/cm³.

Aṣoju ohun elo awọn oju iṣẹlẹ

Kristali ẹyọkan PERC sẹẹli silikoni nitride ifisilẹ fiimu antireflection.

TOPCon cell tunneling ohun elo afẹfẹ Layer ati polycrystalline silikoni Layer igbaradi.

HJT cell amorphous ohun alumọni film ilana iwadi oro.

Iduroṣinṣin Iwọn otutu ti o ga julọ: Lilo graphite mimọ-giga tabi awọn ohun elo idapọmọra seramiki ti a ṣe adani, o le duro ni iwọn otutu giga ti o lemọlemọ si 800 ° C ni ilana PECVD laisi ibajẹ tabi ibajẹ, ni idaniloju iduroṣinṣin igba pipẹ.

Apẹrẹ Iṣọkan deede: Iṣapeye Iho ẹya ati imọ-ẹrọ itọju dada ṣe iṣeduro alapapo aṣọ ti awọn wafers ohun alumọni lakoko ilana fifisilẹ, pẹlu sisanra fiimu laarin ± 3%, imudara agbara batiri ni pataki ati ikore.

Kontaminesonu Kekere ati Igbesi aye Iṣẹ Gigun: Imọ-ẹrọ idada pataki ti o ṣe idiwọ imunadoko patiku, idinku eewu ilana ilana; lagbara ipata resistance idaniloju a iṣẹ aye ti lori 1000 waye, sokale awọn onibara ká ìwò iye owo.

Ibamu ati irọrun: Atilẹyin fun ọpọlọpọ awọn iwọn wiwọn ohun alumọni (M6 / M10 / G12, ati bẹbẹ lọ) ati awọn ibeere ilana ti o yatọ, ti o funni ni aye ti adani ati awọn apẹrẹ ọkọ oju omi, ati pe o ni ibamu pẹlu ohun elo PECVD akọkọ (gẹgẹbi Centrotherm, Meyer Burger, ati bẹbẹ lọ).