SiC to lagbara vs. Graphite: Ohun elo wo ni o dara julọ fun Awọn ohun elo RTP

Ni iṣelọpọ igbona iyara (RTP), awọn ohun elo iyẹwu ṣe pataki gaan. Wọn le ṣe iranlọwọ boya ilana naa ṣiṣẹ daradara tabi fa awọn iṣoro pẹlu didara. Meji ninu awọn aṣayan ti o wọpọ julọ jẹ ohun alumọni carbide (SiC) ati lẹẹdi. Awọn ohun elo mejeeji mu iwọn otutu mu, ṣugbọn wọn huwa ni iyatọ pupọ ni lilo gidi-aye. Yiyan eyi ti o tọ da lori awọn nkan diẹ. O da lori bi o ṣe mọ agbegbe nilo lati wa, bawo ni awọn ẹya yẹ ki o pẹ to, ati bii paapaa ooru ṣe nilo lati jẹ. Ninu nkan yii, a yoo ṣe afiwe ri to SiC ati lẹẹdi ẹgbẹ nipa ẹgbẹ. Eyi yoo ran ọ lọwọ lati rii eyi ti o dara julọ fun iṣeto RTP rẹ.

Loye Awọn ibeere Ohun elo ni Ṣiṣẹda Gbona Yiyara (RTP)

Ṣiṣeto Gbona Rapid (RTP) jẹ gbogbo nipa iyara ati konge. O ṣe igbona awọn wafers semikondokito si awọn iwọn otutu ti o ga pupọ-nigbakan diẹ sii ju 1,000°C-ni iṣẹju-aaya diẹ. Awọn apeja? Ilana naa nilo lati jẹ mimọ, tun ṣe, ati iṣakoso ni wiwọ. Ti o fi ọpọlọpọ wahala lori awọn ohun elo inu iyẹwu naa. O ni pataki ni ipa lori awọn atilẹyin wafer, awọn alagara, ati awọn ideri iyẹwu.

SiC ti o lagbara ati lẹẹdi jẹ wọpọ ni awọn iṣeto RTP. Wọn le gba ooru giga laisi yo tabi titẹ. Ṣugbọn resistance igbona kii ṣe ohun kan ti o ṣe pataki. Awọn ohun elo tun nilo lati ni ina elekitiriki to dara lati tan ooru ni boṣeyẹ. Ti ooru ko ba kọja wafer, awọn ẹya ẹrọ le jẹ idamu tabi da ṣiṣẹ ni awọn igbesẹ nigbamii. Ooru ti ko ni deede nyorisi awọn abawọn ti o niyelori.

Ipalara jẹ ibakcdun nla miiran. Eyikeyi patiku kekere ti o lọ kuro lakoko sisẹ le de lori wafer ki o ba a jẹ. Eyi ni ibi ti graphite bẹrẹ lati ṣafihan awọn opin rẹ. Graphite dara pẹlu ooru, ṣugbọn o rọra rọra ṣubu ni afẹfẹ tabi awọn aaye mimọ pupọ. Iyẹn le ṣafihan awọn patikulu ti aifẹ. SiC ti o lagbara, ṣugbọn pupọ diẹ sii iduroṣinṣin kemikali ati pe o kere si lati ta awọn eegun silẹ.

Ọrọ ti agbara tun wa. Lẹẹdi jẹ fẹẹrẹfẹ ati rọrun lati ẹrọ, nitorinaa o jẹ din owo nigbagbogbo ni iwaju. Ṣugbọn o yara yiyara, paapaa pẹlu gigun kẹkẹ iwọn otutu leralera. Ri to SiC ni okun sii ati ki o na to gun, ki o ko ba nilo lati ropo o nigbagbogbo tabi da iṣẹ bi Elo.

Ni kukuru, yiyan laarin SiC to lagbara ati graphite kii ṣe nipa ooru nikan. O jẹ nipa bi ọkọọkan ṣe n ṣiṣẹ lakoko lilo gidi. Ti o ba nṣiṣẹ laini RTP, ronu nipa ooru, mimọ, bawo ni o ṣe pẹ to, ati idiyele ni kikun.

SiC ti o lagbara: Iṣe Ere fun Awọn Ayika RTP mimọ-giga

Silikoni carbide (SiC) ti wa ni igba ti a lo ni ga-opin RTP nitori ti o duro funfun ati ki o dada. O le mu ooru to ga laisi fifọ tabi ṣe eruku. Ko tun ṣe pẹlu ọpọlọpọ awọn kemikali, eyiti o ṣe iranlọwọ lati jẹ ki iyẹwu naa di mimọ ati aabo fun awọn wafers.

Ni iṣelọpọ gidi-aye, igbẹkẹle yii ṣe pataki. Fun apẹẹrẹ, awọn fabs ṣiṣe awọn eerun to ti ni ilọsiwaju tabi awọn ẹya agbara nigbagbogbo lo awọn ẹya SiC to lagbara. Wọn nilo afikun sisẹ mimọ, nitorinaa SiC jẹ ibamu to dara. Paapaa itọpa kekere ti awọn ohun elo ajeji le fa ikuna ẹrọ tabi dinku ikore. SiC ri to le mu ooru mu lori 1000 ° C laisi oxidizing. Ti o ni idi ti o ṣiṣẹ daradara ni RTP pẹlu atẹgun tabi ni igbale setups.

Afikun miiran jẹ iṣẹ ṣiṣe igbona. SiC ti o lagbara ntan ooru daradara, eyiti o ṣe iranlọwọ lati jẹ ki wafer paapaa kikan. Eyi yago fun awọn aaye gbigbona ati mu ki ilana naa jẹ paapaa paapaa-pataki fun awọn ẹya kekere ati awọn igbesẹ ti o muna. Diẹ ninu awọn ẹrọ paapaa lo awọn ẹya SiC lati yara yiyara ati fi akoko pamọ.

Agbara jẹ agbegbe miiran nibiti SiC ti nmọlẹ. O jẹ lile ati ipon, eyiti o jẹ ki o sooro lati wọ ati mọnamọna gbona. Ko dabi lẹẹdi ti a bo, SiC ti o lagbara ko ya tabi peeli ni akoko pupọ. O ṣiṣe nipasẹ ọpọlọpọ awọn iyika, nitorinaa o yi awọn ẹya pada kere si, da ohun elo naa dinku, ati inawo diẹ si awọn atunṣe.

Ni kukuru, SiC ti o lagbara ni idiyele diẹ sii ni akọkọ, ṣugbọn o tọsi fun awọn iṣẹ RTP ti o nilo awọn ẹya mimọ, igbesi aye gigun, ati ooru ti o duro.

Lẹẹdi: A Wapọ ati Idiyele-Doko

Graphite ṣiṣẹ daradara fun RTP ti isuna ba kere tabi ilana naa rọrun. O le gba ooru ati rọrun lati ge sinu apẹrẹ. Ko ṣe kiraki nigbati o ba gbona tabi tutu ni iyara, nitorinaa o lo fun awọn ẹya bii awọn dimu wafer ati awọn igbona ni awọn iṣẹ ipilẹ.

Ọkan ninu awọn anfani nla julọ graphite jẹ idiyele. Graphite iye owo kere ju SiC to lagbara ati pe o rọrun lati ṣe apẹrẹ. Eyi jẹ ki o jẹ yiyan ti o dara fun awọn laini idanwo, R&D, tabi awọn iṣeto ti o yipada nigbagbogbo. O le ge si awọn apẹrẹ tuntun ni iyara, nitorinaa o ṣe iranlọwọ lati jẹ ki iṣẹ tẹsiwaju nigbati awọn ayipada ba nilo.

Aworan tun ni iṣẹ ṣiṣe igbona to lagbara. Lẹẹdi ti ntan ooru daradara. O ṣe iranlọwọ lati gbona wafer ni deede. O tun ṣe itọju alapapo ati itutu agbaiye ni ọpọlọpọ igba laisi fifọ. Ṣugbọn kii ṣe pipe. Ni awọn aaye ti o ni ọpọlọpọ atẹgun tabi ti o nilo lati wa ni mimọ pupọ, graphite le ṣubu lulẹ laiyara. Ati nigbati iyẹn ba ṣẹlẹ, o le ṣe eruku kekere. Eruku yii le sọ awọn wafer naa di idọti. Iyẹn jẹ iṣoro nla ti o ba n ṣe awọn eerun to ti ni ilọsiwaju tabi awọn ẹya ifura.

Lati jẹ ki graphite pẹ to ati ki o da eruku duro, o nigbagbogbo ti a bo pẹlu ohun alumọni carbide. Awọn ti a bo iranlọwọ lati dabobo o sugbon o le wọ jade lori akoko. Nitorinaa, o nilo lati ṣayẹwo ati yipada nigbagbogbo. Nigba miiran, ti a bo naa le yọ kuro, eyiti o le buru ju lilo graphite itele lọ.

Ni soki, ayaworan nfunni ni iwọntunwọnsi to wulo laarin iṣẹ ati idiyele. Kii ṣe mimọ tabi lagbara bi SiC ti o lagbara, ṣugbọn fun ọpọlọpọ awọn iṣẹ RTP-paapaa ni kutukutu tabi awọn ti o rọrun-o ṣiṣẹ daradara ati idiyele dinku.

Bii o ṣe le Yan: Ohun elo-Awọn iṣeduro kan pato lati Semixlab

Yiyan SiC to lagbara tabi lẹẹdi kii ṣe nipa eyiti ọkan dun dara julọ. O jẹ nipa ohun ti iṣẹ rẹ nilo. Ni Semixlab, a ti ṣiṣẹ pẹlu awọn ẹgbẹ kekere ti o bẹrẹ ati awọn ile-iṣelọpọ nla ti n ṣe awọn eerun oke. Ohun ti a ti kọ ni pe yiyan ohun elo yẹ ki o wa ni asopọ nigbagbogbo si awọn ibeere kan pato ti ilana rẹ.

Ti o ba wa ni mimọ tabi awọn iṣeto ọlọrọ atẹgun, tabi ṣiṣe awọn ẹya chirún kekere, SiC ti o lagbara ni yiyan ti o dara julọ. O-owo diẹ sii ni akọkọ ṣugbọn ṣiṣe ni pipẹ ati fun awọn esi to dara julọ, fifipamọ owo ni akoko pupọ.

Graphite dara fun awọn igbesẹ RTP ti o rọrun tabi nigba ti o tun n ṣatunṣe ilana naa. O jẹ olowo poku ati yara lati ṣe apẹrẹ. Onibara kan lo graphite ti a bo ni iṣeto kekere lati fi owo pamọ lakoko idanwo. O jẹ ki wọn rọra laisi rubọ pupọ lori iṣẹ.

Ni awọn igba miiran, ọna arabara kan jẹ oye julọ. O le lo SiC to lagbara fun awọn ẹya to gbona julọ, pataki julọ. Lẹhinna, lo graphite fun awọn apakan nibiti mimọ pupọ ko ṣe pataki. Bọtini naa ni lati ya awọn yiyan ohun elo rẹ si awọn iwulo ilana rẹ, kii ṣe isuna rẹ nikan.