SiC Awọn ohun elo amọ

A máa ń lo àwọn ohun èlò amọ̀ SiC sí i nínú àwọn ohun èlò semiconductor, nítorí pé wọ́n máa ń dúró dáadáa ní àwọn ipò tó le koko. Nígbà tí ooru bá pọ̀ tàbí tí ìlànà náà bá di líle, àwọn ohun èlò bíi quartz tàbí silicon lè bẹ̀rẹ̀ sí í fi ààlà hàn, ìyẹn sì sábà máa ń jẹ́ ibi tí SiC ti wọlé. Nínú àwọn ìlànà iná mànàmáná bíi oxidation tàbí diffusion, àwọn ẹ̀yà bíi ọkọ̀ ojú omi wafer tàbí àwọn pádì tí a fi SiC ṣe máa ń pẹ́ títí. Wọ́n máa ń pa àwọ̀ wọn mọ́, wọn kì í sì í fa ìbàjẹ́ púpọ̀, kódà lẹ́yìn ìgbà pípẹ́. Àwọn ènìyàn sábà máa ń yípadà láti quartz fún ìdí yìí, pàápàá nígbà tí ìtọ́jú bá ń pọ̀ jù.

Fún ìfọ́, a sábà máa ń yan SiC nítorí pé ó máa ń pẹ́ títí di ìpele plasma. Ìyàtọ̀ ìgbésí ayé pẹ̀lú àwọn ẹ̀yà silicon ni a lè rí ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn ètò, bó tilẹ̀ jẹ́ pé ó ṣì sinmi lórí ìlànà pàtó. Ó tún ń ran lọ́wọ́ díẹ̀ pẹ̀lú ìṣàkóso pàtákì, èyí tí ó máa ń di ẹni tí ó nímọ̀lára bí àwọn nóódù ṣe ń dínkù. O tún máa ń rí SiC tí a lò gẹ́gẹ́ bí àwọn ohun tí ó lè mú kí ara gbóná nínú MOCVD tàbí CVD. Nínú àwọn ọ̀ràn wọ̀nyẹn, kì í ṣe nípa “agbára” ṣùgbọ́n ó jẹ́ nípa mímú kí ìhùwàsí iwọ̀n otútù dúró ṣinṣin. Yàtọ̀ sí èyí, ó máa ń hàn nínú àwọn ẹ̀yà yàrá bí àwọn ohun èlò ìfọ́ tàbí àwọn orí ìwẹ̀, àti nígbà míìrán nínú mímú àwọn ẹ̀yà ara pẹ̀lú.